理化学研究所光工学研究室
1996 年 65 巻 5 号 p. 479-484
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主として光波干渉を使った最近の計測技術について,処理の実時間化,実験室外での適用の試み,多重化の例を紹介する.まず光センシングの特徴と支援環境の進歩を展望した後,表面形状の実時間測定,変形とひずみの自動測定,光ファイバー干渉計測における最近の成果を述べる.
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