応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
薄膜トランジスタ
創生から未来まで
松村 正清
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1996 年 65 巻 8 号 p. 841-848

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抄録
薄膜トランジスタ (TFT: Thin-Film Translsto) は長い歴史を持ってはいるが,その有用性が広く認められたのはこく最近である.この急速に重要性を増しているTFTについて,その生まれと育ち,未来展望,動作原理,構造と種類などを概説する.
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© 社団法人 応用物理学会
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