軟X線光学薄膜の光学定数

抄録

軟X線に対して直入射でも使える画期的な多層膜反射鏡の開発に関連して,薄膜の軟X線光学定数のデータの不足が痛感されるようになった.ここでは初めに基礎知識を整理して光学定数を理解していただいた上で,薄膜の軟X線光学定数の研究の現状を紹介する.そこでは,薄膜の光学定数はバルクのものと一致しないこともあることや,成膜初期の連続膜に移行する前後で光学定数が特異な振る舞いをする例が紹介される.また,同じ試料に対して異なる方法で測定した光学定数が一致するかを調べて信頼性を検証する研究も紹介される.