超高純度水素化アモルファスシリコンの作製
光劣化と不純物の関係は?
1998 年 67 巻 3 号 p. 332-336
詳細
1998 年 67 巻 3 号 p. 332-336
アモルファスシリコン系太陽電池にとって最重要課題である光劣化機構解明・抑制への一歩として,そのモデルの一つである,光誘起欠陥と不純物原子のペアを想定する不純物説を検証した.このモデルの検証には,通常,膜中に禽まれる不純物を光誘起欠陥密度の飽和値～1017cm-3以下に低減し,その光劣化特性を調べることが最も確実で,しかも夢のある方法である.これまで難しかったアモルファスシリコン膜の高純度化の方法について述べる.
