応用物理
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微結晶シリコン薄膜
アモルファス物質と結晶の間にある諸問題
近藤 道雄
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1999 年 68 巻 10 号 p. 1133-1139

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抄録

最近注自されている微結晶シリコン薄膜における物質科学としての諸問題をアモルファス物質と結晶の融合領域における問題として取りあげ,共通点と相違点を整理しながら微結晶シりコンという物質の特質を明らかにする.

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© 社団法人 応用物理学会
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