超高分解能走査型非線形誘電率顕微鏡
2002 年 71 巻 1 号 p. 62-65
詳細
2002 年 71 巻 1 号 p. 62-65
サプナノメ-トル領域で強誘電体の分極を可視化できる超高分解能走査型非線形誘電率顕微鏡システムを開発した.このシステムを用いて,強誘電体材料の種々のナノドメインの可視化を行った.本顕微鏡の分解能は,原子分解能に迫るところまできている.さらに,計測次数を単純に変化させるのみで,より分解能が向上する高次非線形誘電率顕微鏡の開発を行った.
