弘前大学理工学部物質理工学科
2002 年 71 巻 1 号 p. 83-86
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薄膜および薄膜結晶の分析・評価技術を,構造・組成.特性の観点から,技術の全体像が初心煮にも容易に理解できるよう解説した.特に,個別手法の詳細はほかの文献に譲り,分析.評価技術を利用する立場から,目的に最も適合した手法を選択するために手法間の比較に重点を置いた.
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