低誘電率媒体としてのアモルファス窒化炭素薄膜

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

低誘電率媒体としてのアモルファス窒化炭素薄膜

仁田昌二, 青野祐美

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ジャーナルフリー

2002 年 71 巻 7 号 p. 892-894

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.71.892

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