半導体プロセス・デバイスシミュレーションの自作と業務への利用効果

抄録

半導体生産に対して、プロセス・デバイスシミュレーションを自作した。物理データに関しては、近似式を工夫して設定し、シミュレーションの設定モデルでは、実際のＩＣ縦構造およびＩＣ特性から、実績値を利用して設定した。実験前の見積り評価が可能となり、実験回数の削減および異常発生時の異常項目の推定が容易となり、業務効率を大幅に向上することが出来た。