固体電気化学反応を利用したガラス表面の金属イオンパターニング

抄録

イオン伝導性微小電極を用いてガラス表面の金属イオン分布の電気化学デザインを試みた。銀ベータアルミナ微小電極とガラス界面の電圧を印可することで、ベータアルミナ中の銀イオンがガラス内のアルカリ金属イオンと置換的に注入される。3次元自動ステージにベータアルミナを取り付け、電圧印可時に微小電極を走査することで、ガラス表面にパターン化された銀の組成分布が構築可能であった。ガラス表面に銀イオンの線を描画した場合、線幅は電極の走査速度や電流値によって自由に、かつ精密に制御可能であり、最小で10マイクロメートル幅であった。この技術は光導波路やマイクロレンズアレイの新規な作製法として期待できる。