酸化ルテチウム添加窒化ケイ素のガス圧焼結条件の検討

抄録

8%の酸化ルテチウムと2%のシリカを焼結助剤とした窒化ケイ素の窒素圧0.9MPa下でのガス圧焼結条件の検討を行った。焼結温度2050℃にて、約3.4g/cm3の密度の焼結体が得られた。詰め粉に含まれるシリカ成分に最適値があることが示唆された。