強誘電体メモリFeRAMの新展開

抄録

強誘電体薄膜の分極履歴現象を利用したメモリFeRAMは不揮発性、高速読み書き、低消費電力、高集積化可能等の特長を有するところから開発が盛んで少メモリ容量素子は市販されている。更なる高集積化が期待されており、最近、新構造素子、元素置換や新材料による強誘電体膜の物性改善、新原理素子などの提案・展開が進んでいる。これらの展開について概観し、将来展望を議論したい。