エアロゾルデポディッション法によるプラスチック基板へのアルミナ結晶膜の常温形成

抄録

エアロゾルデポディション法（AD法）を用いて，各種プラスチック基板上へアルミナ膜の作成を試みた．用いたプラスチック基板はナイロン（6N），ポリカーボネート（PC），ポリエチレン（PE），ポリプロピレン（PP），テフロン（4F），エービーエス（ABS），アクリル（ACR）である．AD法による成膜実験後，表面荒さ計を用いて成膜の可否を評価した．6NおよびPCでは，約5μmのアルミナ膜形成が確認でき，PEおよびPPでは非常に薄いがアルミナ膜の形成を確認した．4F，ABSおよびACRではアルミナ膜は形成できなかった．発表では，PC基板上に成膜できたアルミナ膜構造評価を行った結果についても述べる．