酸化物複合材料系力学量センサ材料（4）絶縁層，センサ層の一体焼結

抄録

力学量（荷重，歪，圧力）検知機能を有しかつ構造部材として使用できるセンサ材料の創製を目的として，ジルコニアをマトリックスとして，圧力抵抗効果を有する酸化物セラミックス（La,Sr)MnO3を分散させた複合材料の開発を進めている．本報告では，絶縁層/センサ層/絶縁層の３層センサ素子を一体焼結する製造方法を検討した．その結果，絶縁層にLSMOを電気伝導度が出ない範囲内で添加し，絶縁層とセンサ層の収縮率を近づけることによって，抵抗値，温度特性のばらつきの小さい一体焼結素子を得た．