自己温度制御形湿度センサの信頼性向上

抄録

自己温度制御形湿度センサは温度補正回路を必要としないセンサである。クロム酸鉛（PbCrO4）に酸化鉄（Fe2O3）を0.3 mol組み合わせることで自己温度制御形湿度センサとしての可能性を示す素子が得られることをこれまでに報告してきている。この素子の実用化には信頼性の向上を必要とする。安定な特性を持つ信頼性の高い素子を得ることを目的に今回の研究を行った。電極材料に金及び白金を使うことで熱処理条件を大幅に変えることができた。結果として、望ましい特性の素子が得られた。