Al₂TiO₅-MgTi₂O₅系セラミックスの内部摩擦特性評価

抄録

　精密機械加工や電子顕微鏡分野において、現在以上の微細な制御や観察を行う場合、系の内部にある構造材料に発生する振動が阻害要因となっている。この問題の解決にはダンピング特性に優れた構造材料が必要になる。現在、制振合金や制振鋼板等があるが、高い製造技術を要する・形状に制限がある等の問題点があるため、我々は製作が簡便で形状の自由度が大きい材料を目指して、セラミックス多孔体を基材として高分子を含浸・複合化させる手法での材料開発を進めてきた。基材となるセラミックスのダンピング性を高くするためAl₂TiO₅-MgTi₂O₅固溶体系に着目し、アスペクト比の高い気孔を導入することで内部摩擦0.03以上の高いダンピング特性が得られた。