コンビナトリアル静電噴霧プロセスの開発

抄録

近年、コンビナトリアルケミストリーを利用した無機材料の高速材料探索手法が注目されている。しかし、製膜プロセスとして報告されているMBEやPLDを用いたシステムではリチウムやカリウムなどのアルカリ金属を含んだ材料の作製が困難である。我々は、液体に高電圧をかけて微細化し、大気中で基板上に試料を堆積させる方法である静電噴霧析出法に着目した。本研究では、この静電噴霧析出法をコンビナトリアル手法に取り込み、無機材料の高速探索システムの開発を検討した。