抄録
酢酸亜鉛を原料とし、２_-_プロパノールを溶媒、アルカノールアミンやα_-_ヒドロキシケトンを添加剤に用いて濃度約0.5Mのコーティング溶液を調製した。この溶液を用い、種々の条件で酸化亜鉛薄膜を作製した。得られた膜の配向性や結晶子径をX線回折によって求め、SEMやAFMによって膜構造を観察した。また、得られた膜をチャネル層に用いたボトムゲート型トランジスタについても作製した。薄膜は透明であり1コーティング当たりの膜厚は約35nm、粒径は約80-90nmであった。得られた膜は添加剤、熱処理条件によっては強くＣ軸配向していた。比抵抗は0.5-10Ωcmであり、熱処理条件により変化した。
