窒素雰囲気焼成チタン酸バリウム系セラミックスの圧電的性質

抄録

非鉛系の圧電アクチュエ_-_タへの応用を目的として、チタン酸バリウム系セラミックスの窒素雰囲気での焼成実験を行った。[(Ba1-XCaX)O]m(Ti0.975Zr0.025)O2の組成ならびに添加物および焼成雰囲気と誘電的、圧電的性質の関係を調べた。各酸化物原料を所定の割合いに混合、仮焼し、粉砕、成形、本焼により試料を作製した。試料の表面を研磨したのち、Ｎｉ_-_Ｃｒ電極をスパッタにて形成した。インピ_-_ダンスアナライザにて誘電率と誘電損失、およびその温度依存性を測定した。また強誘電体評価システムにて、Ｐ_-_ＥヒステシスおよびＳ_-_Ｅヒステリシスを測定した。さらに、ニッケル電極との同時焼成の検討も行った。