パルスレーザアブレーション法によるYBCO薄膜の体積と評価

抄録

Nd:YAGレーザの2倍波である可視光（532nm）を用いたパルスレーザアブレーション法により製膜したYBCO薄膜を熱処理した薄膜の組成とその表面のドロップレットの組成を評価した．光源の比較のため3倍波，4倍波を用いた場合についても検討を行った．またターゲットのＹに対するCu，Baの組成比がそれぞれ４，2の時薄膜中のBaとCuの組成比は鋭い極大値を示し，それらの値はほぼ化学量論組成比の２と３となった．このとき生成されるドロップレットはほぼCuであった．ドロップレットの組成の種類はほぼCuのみ，Y，Ba，Cuすべて含まれるが若干Baが多いものがあることがわかった．また形状もピラミッド型，台形、半球形の三つが存在することがわかった．