表面に被膜を形成した窒化ケイ素の組織と強度

抄録

粗加工のままの窒化ケイ素表面にポリマー前駆体を被覆し、熱分解させて被膜形成を行うプロセスにより強度が向上できる可能性を示した。ポリシクロムメチルシラザンの10%溶液を用い、粗加工面に2回被膜形成を行うことにより、わずかな細い亀裂は残ったものの、粗加工面は平滑化された。またその強度を測定した結果、粗加工面の強度に比べて150MPa程度高い強度を示すこと、及びワイブル係数で示したそのばらつきはわずかに小さくなっていることがわかった。