CSD法により作製したBaTiO3とBaZrO3薄膜の結晶化挙動とその固溶体への影響

抄録

我々は化学溶液堆積(CSD)法により非鉛強誘電体Ba(Ti1-xZrx)O3 (BTZ)を作製し，その誘電・圧電特性は結晶子径に強く依存することが分かった。最初の焼成条件を650℃1分に統一してBTZ薄膜を作製してきたが，Zr置換量の増加によって結晶子径はx=0.10で最小を示したのに対し，表面粒径は徐々に減少した。この原因を調べるため，BaTiO3，BTZ(x=0.10)，BaZrO3薄膜の結晶化挙動を確認したところ，それぞれ600℃，650℃，550℃で結晶化した。この傾向は条件を統一して作製してきたBTZ薄膜の結晶子径の変化に対応することが分かった。