液相エピタキシー法によって合成したニオブ酸カリウム薄膜の圧電特性

抄録

K₂CO₃:Nb₂O₅=65:35mol%を出発組成として、液相エピタキシー法により、KNbO₃単結晶薄膜の合成を行った。用いた基板はNbドープした(100)および(110)SrTiO₃で、堆積温度は930-950℃とした。得られた薄膜の結晶性および表面形態を評価した。その結果、(100)SrTiO₃基板を用いた場合は(010)_pc配向、(110)SrTiO₃基板を用いた場合は(101)_pcおよび(011)_pc配向が確認された。更に、レーザドップラ振動計による圧電振動を調べた。