液相析出法による金属酸化物薄膜の合成_-_その微細構造と高次構造化_-_

抄録

金属フッ化物錯体を反応溶液とする金属酸化物薄膜の合成として液相析出(LPD)法の研究を行ってきた。これまでの30種類に及ぶ酸化物の合成を行う中で、合成手法としての液相析出法の特徴を生かしたセラミックス高次構造体の合成・ナノスケールの反応系におけるセラミックス合成を通じて、セラミックス合成に対する反応界面の影響について注目してきた。本発表では、LPD法により合成された金属酸化物薄膜の微細構造とその高次構造化を中心に発表する。