AlNの焼結挙動に及ぼす粗大粒子の影響

抄録

AlNの焼結挙動に及ぼす原料粉末中に存在する粗大粒子の影響について検討した。均一かつ微細なAlN粉末に粗大粒子を添加すると粗大粒子近傍は不均一に収縮し、気孔が残存した。AlN中の固溶酸素量を格子定数により評価したところ、粗大粒子を添加した場合には酸素は高温まで固溶しにくいことがわかった。これに伴って、固液界面二面角の低下も高温側にシフトした。さらに、粒度分布の広いAlN粉末中の粗大粒子を篩分級により除去したところ、焼結性は改善され、酸素固溶の挙動も均一かつ微細な粉末と同様の変化を示した。