抄録
窒化アルミニウム(AlN)は、金属アルミニウム以上の熱伝導率を有し、高電気絶縁性などの特徴から、高熱伝導絶縁基板としてポテンシャルの高い材料である。また、6.2 eVものワイドバンドギャップを有していることから、可視光領域において無色透明である。よって、透光性セラミックスとしても期待される材料である。本実験では、Ca系化合物の添加量を変化させたAlN焼結体を作製した。得られた焼結体に対し、積分球を用いて透過スペクトルを測定し、カソードルミネッセンス測定により欠陥の量を評価した。これらの結果から、Ca系化合物の添加量を増加させると酸素が関与した欠陥が減少し、260から500 nmの光透過率が高くなったものと考えられる。
