複合アルコキシドを用いた集積化非鉛強誘電体の作製と特性評価

抄録

構造を制御した複合アルコキシド溶液を用いて、シリコン基板や金属箔等の各種基板上に集積化したCaBi₄Ti₄O₁₅強誘電体やBa(Zr,Ti)O₃強誘電体について、結晶構造と微構造制御を行い、強誘電体特性ならびに圧電特性の向上を達成した。これらの基礎的な結果から、該当材料のデバイスへの応用展開の可能性を考察したい。