抄録
精密機械加工や電子顕微鏡分野において、現在のレベル以上の微細な制御や観察をするための阻害要因として、系内の構造材料に生ずる振動が考えられる。この問題の解決には、構造材料自体に優れたダンピング特性を持たせることが有効である。構造材料に用いられるような剛性の高い材料でかつダンピング特性の高い材料としては、制振合金や制振鋼板等があるが、高い製造技術を要する・形状に制限がある等の問題点があるため、我々は製作が簡便で形状の自由度が大きい材料を目指して、セラミックス多孔体を基材として高分子を含浸・複合化させる手法での材料開発を進めている。Al2TiO5_-_MgTi2O5固溶体系セラミックスのダンピング性を高め、高分子と複合化することで、ヤング率50_から_60GPa、内部摩擦0.01_から_0.03の、剛性とダンピング特性の共存する材料を開発できた。複合材料の振動特性を動的粘弾性測定で評価した結果、複合材料の特性には高分子の特性が大きな影響を与えることがわかった。
