ナノ結晶電気泳動電着法によるBaTiO₃薄膜の作製と誘電特性

抄録

代表的な強誘電体化合物であるチタン酸バリウム（BaTiO₃）は、新規な電子・光学材料としての多様な応用が期待されている。そこで、本実験では平均粒径10nmのBaTiO₃粒子の単分散サスペンションを用いた電気泳動電着法（EPD）によるBaTiO₃薄膜の作製を600℃以下の低温で行い、その誘電特性の調査を行った。BaTiO₃ナノ結晶は、Ba(OC₂H₅)₂とTi(OiC₃H₇)₄をCH₃OHとCH₃OC₂H₄OHの混合溶媒に溶かし前駆体溶液を調製し、加水分解の後、90℃で1時間エージングすることによりBaTiO₃ナノ結晶ゲルを得た。得られたゲルにCH₃OC₂H₄OHを加え超音波解砕し、単分散サスペンションを得た。このサスペンションを用い、Cu基板上にEPDによりBaTiO₃ナノ結晶薄膜を作製した。この薄膜を種々の条件で焼結し、それらの誘電特性を測定した。