抄録
水熱合成によって作製したナノサイズのBaTiO3粉末はマイクロ波焼結により高い圧電定数d33値を示した.そのセラミックスの圧電定数d33値はおよそ350pC/Nで、粒径は2.1ミクロンであった。高い圧電定数を示すセラミックスの微細構造、及び粒界特性についてTEM、SEM-EBSP-OIM解析装置を利用して調査した.その結果、粒内のドメインサイズはおよそ50nmであることを確認した.チタン酸バリウムの圧電特性の高性能化の理由としてドメインサイズを減少させ、粒内のドメイン壁密度を増加させることであることをセラミックスでは初めて明らかにすることができた.粒界特性について解析した結果、ランダム粒界であり、圧電特性の高性能化に寄与している可能性を考察した.