Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃-Pb(Ni_1/3Nb_2/3)O₃-Pb(Zr,Ti)O₃薄膜の特性の温度変化

抄録

化学溶液法により作製したPMN-PNN-PZT薄膜の電気特性と電機機械特性の温度変化を測定した。薄膜は650℃の熱処理により作製された。分極ヒステリシス特性はスリムであり、高電場で飽和する傾向を持つ。誘電率は室温で2000前後であり、強いバイアス電場依存性を有する。比誘電率の温度依存性の測定から相転移を140℃付近に有すると判断できる。電界誘起変位のループは線形性に優れていて、d33換算で70pm/Vの値である。