有機/MoO₃ハイブリッド材料による VOC センサデバイス開発

抄録

酸化モリブデン(MoO3)層間に有機化合物をインターカレートしたハイブリッド材料は、高い選択性と感度を有した新しいVOCガスセンサへの応用が期待されている。また、材料技術と半導体加工技術を融合することで、センサ素子を基板上に高度に集積化したデバイスを形成することが可能となると考えられる。本発表では、有機/MoO3ハイブリッド材料のセンサデバイス化において重要である、センサ材料の耐熱性とそのアルデヒドに対するセンサ応答特性への影響について報告する。