自然超格子構造を有するBi₄Ti₃O₁₂系強誘電体薄膜の作製と評価

抄録

強誘電体材料として特異な構造（自然超格子構造）を有するBi₄Ti₃O₁₂系薄膜を化学溶液プロセスにより作製し、結晶学的な構造および強誘電性について評価を行った。また、異種元素を構造中にドープすることによる特性の向上効果についても検討を行った。