高エネルギー放射光X線回折による非晶質シリカの窒化過程の解析

抄録

シリカがアンモニアガスにより窒化される挙動を放射光X線回折により解析した。得られた全相関関数の解析により、窒化ケイ素の核発生が起こる前に窒素原子はシリカのネットワークに取り込まれ、非晶質3員環ネットワークを形成することを明らかにした。