窒化ケイ素セラミックスのマイクロ波領域での誘電特性

抄録

代表的な構造用セラミックスである窒化ケイ素ついてはその機械的、熱的特性に関してこれまで多くの研究が行われてきた。しかし、電磁気特性についての系統的な研究は殆ど行なわれていない。本発表では、焼結助剤の組成、焼成温度及び時間、アニール処理などのプロセス因子が窒化ケイ素焼結体のマイクロ波領域での誘電特性に及ぼす影響について報告する。