スパッタ法により作製したペロブスカイト系ナノ積層膜の構造による誘電特性の変化

抄録

BaTiO3とSrTiO3を10単位格子ずつ交互に積層したペロブスカイト型人工超格子が、比誘電率30,000以上という極めて高い誘電性を示すことを、これまでに報告してきた。人工超格子の示す物性は既存材料の限界を破る可能性を秘めているが、成膜法として使用される分子線ビームエピタキシー(MBE)法は、制御性に優れ逐次蒸着による原子層エピタキシーを可能にするものの、成膜速度が極端に遅いという欠点を有している。そのためMBE法を用いる限り、人工超格子の優れた物性を実用材料で得ることは困難になる。そこで本研究では、実用プロセスとして既に確立しているスパッタ法でペロブスカイト型人工超格子の作製を試み、得られた薄膜についてマイクロ帯域での誘電特性を測定した。