ポリシラザン溶液からのシリカ薄膜の室温合成と熱処理による性質の変化

抄録

ポリシラザンのキシレン溶液をコーティング液とするスピンコーティングによってポリシラザン膜を作製し、これをアンモニア水上に垂下することにより、室温でシリカ薄膜を作製した。このシリカ薄膜の熱処理する過程で発生する応力をその場測定するとともに、熱処理過程での膜の構造変化を赤外吸収スペクトルで追跡し、また、熱処理による屈折率、接触角の変化を調べた。