抄録
層状酸化物半導体の一種である酸化モリブデン層間に有機化合物をインターカレートしたハイブリッド材料は、VOCガスセンサに必要な信号変換機能と分子認識機能を、それぞれ酸化モリブデンとその層間の有機化合物に分担させることで、高い選択性と感度を有した新しいセンサ材料への応用が期待される。特に、その分子認識機能を担う層間の有機化合物を多様化させることで、種々のVOCガスに対する選択性を制御できるものと期待される。本発表では、基板上の酸化モリブデン配向膜の層間にポリアニリン誘導体を取り込ませて得た有機無機ハイブリッド薄膜について種々のポリアニリン誘導体が与えるVOCガスセンサ特性について報告する。