逆スパッタリング処理がPd薄膜水素センサの繰り返し特性に与える効果

抄録

我々は、Pd薄膜の水素化に伴う光学特性の変化を作動原理とする光検知式水素センサの研究を行っている。ガラス基板上のPd薄膜は優れた水素検出感度と応答・回復特性を示すことがわかっている。しかし、Pd薄膜は膜厚が数十 nm以上になると水素吸蔵時に10 ％もの体積膨張が発生するため、ガラス基板を用いた場合には繰り返し水素を検知することによりPdが基板から剥離するという耐久性の問題がある。耐久性向上のためにはPd薄膜と接する基板表面の改質を行うことが有効であると考えられる。本研究では基板の逆スパッタリングを行うことにより基板表面の改質を試みた。その結果、基板に逆スパッタリング処理を施した水素センサは高い耐久性を有することが確認された。