多結晶アナターゼ薄膜の光誘起粗さ変化に関する研究

抄録

近年、多結晶アナターゼ薄膜は適当な強度の紫外線を照射することにより水との接触角がほぼ0°の超親水化状態を示すことが知られているが、その一方で光照射によって膜表面が硬くなることや表面粗さが変化することが報告されている。これは、光照射によって膜の表面微構造が変化したことによって膜表面に応力が働いている可能性を示唆している。しかし、光照射による膜表面の応力変化に関する詳細な調査は行われてない。そこで本研究では、多結晶アナターゼ薄膜の光照射による粗さ変化及び応力変化に関して調査を行った。