Low temperature sintering of AlN powdersynthesized by direct-nitridation

Chiaki Someya; Syusuke Suzuki; Daisuke Takahashi; Masato Oguri; Noriyasu Hotta

doi:10.14853/pcersj.2006S.0.308.0

2006年年会講演予稿集

セッションID: 2P003

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2006S.0.308.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

直接窒化法で合成したＡｌＮ粉末の低温焼結

*染谷千昭, 鈴木秀輔, 高橋大輔, 大栗雅人, 堀田憲康

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キーワード: 窒化アルミニウム, 低温焼結, 直接窒化法, 焼結助剤, 粉末

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抄録

窒化アルミニウム(AlN)は室温から400℃の範囲においての熱膨張係数は4.6×10^-6℃^-1であり，シリコンに近い値を示す．またAlNの熱伝導率の理論値は320W/mKと高い値を示す．本研究では，AlN粉末を出発原料とし，Y₂O₃-CaO-Al₂O₃系とY₂O₃のみ焼結助剤として混合し，それをペレット上に成型して窒素雰囲気中，1500_から_1700℃で城圧焼結を行った．結果として三成分系助剤を添加したものは，1600℃で理論密度が96％以上となった．

責任著者(Corresponding author)

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