AlNポリタイポイド多孔体の微構造制御

抄録

AlNポリタイポイドは，AlNのAlをSiでNをOで置換した構造をとり，その置換量に応じてc軸方向の積層周期が変化する．さらに，その周期的な積層構造に起因して，焼成時に板状結晶が生成することが知られている．我々は，この結晶成長の異方性を利用することで，AlNポリタイポイド多孔体を作製してきたが，その微構造がどのような因子により影響されるかは明らかとなっていない．今回，AlNポリタイポイド多孔体作製時のプロセス因子である原料粉末，組成及び焼成温度の影響を制御することで，様々な微構造を有するAlNポリタイポイド多孔体を作製できることが分かった．