高温軟化挙動を利用したガラスのナノスケール表面構造制御と高機能化

抄録

酸化物ガラス表面をナノスケールで加工するために、我々は非晶質材料特有の過冷却液体状態に関連した軟化挙動に着目した。この軟化するという特性は、ガラス固有の特性であり、表面構造をナノスケールで自由に制御できる可能性を秘めている。今回我々は、熱式ナノインプリント法と自己組織化で作製した酸化物ナノモールドを用いて、酸化物ガラスの表面ナノ加工を試みるとともに、その高機能化に関する検討を行った。当日は作製した種々のナノ構造の特性、及びナノパターンガラスを新規ナノ構造基板として用い、その上へ合成した機能性薄膜の諸特性に関しても報告する。