シランカップリング剤による平滑コーティング；構造と動的撥水性

抄録

先に報告しているように、フルオロアルキルシランおよびアルキルシラン類のシランカップリング剤を用いたシリコンウェハー基板の浸漬法による撥水処理において、溶媒の種類およびシランカップリング剤の濃度を適切に調整することで、高度に平滑な処理表面とそれに伴う高度な撥水性および水滴除去性（動的撥水性）を付与することができる。シランカップリング剤として、鎖長の異なるアルキルシラン類およびフルオロアルキルシラン類を用いて平滑なコーティングを行い、シランカップリング剤の構造の観点から、その静的・動的な撥水性について検討を行ったので報告する。