Al-Si-C-N 固溶体の熱電特性

抄録

AlNとSiCは高温で固溶体を形成し，組成に依存して微構造や特性が大きく変化することが知られている．我々のこれまでの研究で，固溶体の形成により導電率やゼーベック係数が制御できることがわかっている．本研究では，さらなる電気的特性の向上を目指して研究を行った．加圧焼結を利用することにより，低温で緻密な焼結体を作製した．さらに作製された緻密体をより高温で熱処理することにより，緻密かつ均質で高い導電率を有する固溶体が得られた．