ZnCo₂O₄薄膜の作製と磁気的・電気的性質

抄録

スピネル型酸化物のZnCo₂O₄ 結晶の薄膜をガラス基板上にスパッタ法で作製し、その薄膜の磁気的および電気的性質を評価した。Ｘ線回折測定から、スピネル相の単相であり、シェーラーの式から見積もった結晶子サイズは約7nmであった。作製した薄膜の磁気的性質は、スパッタガスの種類に依存し、酸素雰囲気で作製した薄膜は、室温で強磁性あるいはフェリ磁性的な挙動を示した。