MOCVD法によるEBC酸化物薄膜の作成と熱物性評価

抄録

近年、環境適応や機能性、エネルギー材料の開発といった観点から、成膜方法、成膜技術、物性評価法の確立が必要とされている。本研究ではコーティング手法に関する調査を行っている。化学蒸着(MOCVD : Metal-Organic Chemical Vaper Deposion)法を用い、ZrO2等の酸化物を様々な基板上に成膜するとともに、薄膜の熱物性を測定した。膜厚等の性状が熱物性に与える影響を研究した。