粉砕助剤添加高エネルギー粉砕により作製した窒化ケイ素微粉末の焼結

抄録

市販のサブミクロン窒化ケイ素粉末に焼結助剤としてイットリアを混合した粉末に、粉砕助剤として金属アルミニウムを添加し、高エネルギー粉砕処理を行ったところ、粉砕が進行し、微粉末が得られた。この粉末を、大気中熱処理することにより、金属アルミニウムを酸化した後、放電プラズマ焼結法を用いて、窒素雰囲気中で焼結を行った。低温・短時間で焼結を行うことにより、ナノレベルの粒子からなる焼結体を作製することができた。