放電プラズマ焼結したAlNセラミックス　_-_焼結条件と諸特性の関係_-_

抄録

我々は放電プラズマ（SPS）焼結法を用いることにより窒化アルミニウム（AlN）を1200℃という低温で焼結できることをすでに報告したが、AlN焼結体の諸性質とSPS焼結条件との関係には未解明の点が多かった。そこで今回、AlN粉末を1100_から_1300℃の温度範囲でSPS焼結し、AlN焼結体の諸性質とSPS焼結条件との関係を調べた。特に、SPS焼結に特有なパルス電流が焼結体の諸特性に及ぼす効果について詳しく検討したので報告する。講演では、パルス電流と焼結プロセスの関係などをもとに、AlNの低温SPS焼結の機構などについても議論したい。