エアロゾルデポジション法による常温衝撃固化現象と誘電体膜への応用

抄録

エアロゾルデポジション（ＡＤ）法は、微粒子の吹きつけと言う簡単な手法で、セラミックス粉末を常温で緻密に固化できる新規なコーティング技術である。この現象は、常温衝撃固化現象（ＲＴＩＣ）と呼ばれ、金属からセラミックス材料まで幅広い材料の集積化、材料創成に新たな展開をもたらす可能性がある。本講演では、ＡＤ法のコアとなる常温衝撃固化現象のメカニズムやその制御要素などにも触れ、ＢＴＯやＢＳＴなど誘電体材料に適用した場合の特性やその応用展開などについて現状と今後の課題を報告する。